Книги
техническая литература
В. И. Шевяков
📚 Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Читайте только на ЛитРес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

текст

PDF

Объем 280 страниц

2012 год

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

текст

PDF

Оставить отзыв

Читайте только на ЛитРес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Нет в продаже

Авторы

В. И. Шевяков

А. И. Мочалов

О книге

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Жанры и теги

Микроэлектроника Техническая литература Электроника Электронные схемы

Оставьте отзыв

Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв

Описание книги

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Книга В. И. Шевякова, А. И. Мочалова и др. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.

Возрастное ограничение:

Дата выхода на Литрес:

31 июля 2014

Дата написания:

2012

Объем:

280 стр.

ISBN:

978-5-9963-2569-6

Общий размер:

7.4 МБ

Общее кол-во страниц: