Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Текст PDF

Объем 285 страниц

2013 год

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Входит в серию «Нанотехнологии»
Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Нет в продаже

О книге

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина и др. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
12+
Дата выхода на Литрес:
31 июля 2014
Дата написания:
2013
Объем:
285 стр.
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Общий размер:
5.2 МБ
Общее кол-во страниц:
285
Правообладатель:
Лаборатория знаний
Аудио
Средний рейтинг 5 на основе 27 оценок
18+
Текст
Средний рейтинг 4,7 на основе 174 оценок
Черновик, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,5 на основе 60 оценок
Текст
Средний рейтинг 4,5 на основе 19 оценок
Черновик
Средний рейтинг 4,6 на основе 27 оценок
Аудио
Средний рейтинг 4,1 на основе 1019 оценок
Черновик
Средний рейтинг 4,9 на основе 219 оценок
Текст, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,5 на основе 21 оценок
Текст, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,7 на основе 1010 оценок
Текст
Средний рейтинг 5 на основе 7 оценок