Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Текст PDF

Объем 285 страниц

2013 год

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Входит в серию «Нанотехнологии»
Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Нет в продаже

О книге

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Текст PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Текст PDF
Средний рейтинг 4 на основе 3 оценок
Текст PDF
Средний рейтинг 3,4 на основе 5 оценок
Текст PDF
Средний рейтинг 5 на основе 2 оценок
Текст PDF
Средний рейтинг 5 на основе 2 оценок
Текст PDF
Средний рейтинг 5 на основе 1 оценок
Аудио
Средний рейтинг 4,1 на основе 1079 оценок
Текст
Средний рейтинг 4,9 на основе 352 оценок
Аудио
Средний рейтинг 4,7 на основе 384 оценок
Текст
Средний рейтинг 4,9 на основе 1508 оценок
Аудио
Средний рейтинг 4,8 на основе 5292 оценок
Текст
Средний рейтинг 5 на основе 54 оценок
Аудио
Средний рейтинг 4,1 на основе 78 оценок
Текст, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,7 на основе 1906 оценок
Текст PDF
Средний рейтинг 4,6 на основе 41 оценок
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина и др. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
12+
Дата выхода на Литрес:
31 июля 2014
Дата написания:
2013
Объем:
285 стр.
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Общий размер:
5.2 МБ
Общее кол-во страниц:
285
Правообладатель:
Лаборатория знаний