Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 11,81 ₽ с покупки её другом.
0+
текстPDF
Объем 69 страниц
2013 год
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
текстPDF
118 ₽
О книге
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Оставьте отзыв
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Описание книги
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Книга «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+Дата выхода на Литрес:
16 января 2016Последнее обновление:
2013Объем:
69 стр. ISBN:
978-5-7038-3729-0Общий размер:
2.9 МБОбщее кол-во страниц:
69Правообладатель:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
