Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Текст PDF

Объем 142 страницы

2007 год

0+

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

548 ₽

Начислим

+16

Покупайте книги и получайте бонусы в Литрес, Читай-городе и Буквоеде.

Участвовать в бонусной программе
Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 54,81 ₽ с покупки её другом.

О книге

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.

Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова и др. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+
Дата выхода на Литрес:
29 марта 2018
Дата написания:
2007
Объем:
142 стр.
Общий размер:
18 МБ
Общее кол-во страниц:
142
Правообладатель:
МИСиС