Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Объем 142 страницы

2007 год

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

авторы

Читайте только на Литрес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

399 ₽

548 ₽

Покупайте книги и получайте бонусы в Литрес, Читай-городе и Буквоеде.

Участвовать в бонусной программе

Подарите скидку 10%

Посоветуйте эту книгу и получите 54,81 ₽ с покупки её другом.

Подробнее

О книге

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.

Жанры и теги

ПрактикумыЭлектроника

Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв

Книга Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова и др. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.

Возрастное ограничение:

Дата выхода на Литрес:

29 марта 2018

Дата написания:

2007

Объем:

142 стр.

Общий размер:

18 МБ

Общее кол-во страниц:

142

Правообладатель: