Объем 24 страницы
2016 год
Оставьте отзыв
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.