МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроникиPDF

0
Отзывы
Как читать книгу после покупки
  • Скачать:
  • PDF
Описание книги

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов.

Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники.

Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Подробная информация
  • Возрастное ограничение: 0+
  • Дата выхода на ЛитРес: 29 октября 2019
  • Дата написания: 2018
  • Объем: 489 стр.
  • ISBN: 978-5-94836-521-3
  • Общий размер: 9 MB
  • Общее кол-во страниц: 489
  • Размер страницы: 175 x 245 мм
  • Правообладатель: Техносфера
Книга Р. Х. Акчурин «МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники» — скачать в pdf или читать онлайн. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Книга входит в серию
«Мир материалов и технологий (Техносфера)»
Магнитомягкие материалы. Энциклопедический словарь-справочник
Плазменно-электролитическое модифицирование поверхности металлов и сплавов. В 2 томах. Том 2
Легкие баллистические материалы
-15%
Оставить отзыв
Напишите отзыв
Получите 100 бонусных рублей
на ваш счет в ЛитРес.
Напишите содержательный отзыв
длиной от 120 знаков
Купите 3 книги одновременно и выберите четвёртую в подарок!

Чтобы воспользоваться акцией, добавьте нужные книги в корзину. Сделать это можно на странице каждой книги, либо в общем списке:

  1. Нажмите на многоточие
    рядом с книгой
  2. Выберите пункт
    «Добавить в корзину»